アリオが「世界初かつ唯一」の6度を発売

2020年6月3日 デビッド・エドワーズ コメントを残す

アリオ・インダストリーズは、同社が主張する「世界初にして唯一の、60度のチップとチルト移動を備えた6自由度のナノポジショナー」を発売した。

Alio Industries は、同社の Angulares ハイブリッド ヘキサポッドの 60 度の傾斜/傾斜移動範囲は、「市販されている 6 自由度のポジショナの中で最も角度の移動範囲が広い」と述べています。

Angulares は、高精度のクロスローラー ベアリング ガイド、すべての軸での光学式インクリメンタルまたはアブソリュート エンコーダ フィードバック、リニア モーターおよび/またはサーボ ボール ネジ ドライブ、無制限にプログラム可能なツール中心点の位置と座標オフセット、およびすべての軸でのゼロ バックラッシュを備えています。

ナノポジショナーは、超解像度顕微鏡、計測学、ナノリソグラフィー、干渉法、イメージングなどで、サンプルや物体を高精度に位置決めするために使用されます。

この設計により、Angulares は無制限の XY 移動、Z 移動は 62 mm (他の三脚モデルを使用すると 208 mm まで増加可能)、連続 360 度 Theta-Z で 60 度 (+/- 30 度) のチップ/チルト移動が可能になります。 +/- 0.6 秒角未満の XYZ 双方向再現性、最大 100 mm/秒の XY および Z 速度、10 ナノメートル未満の直線および 0.1 秒角未満の角最小増分運動。

ハイブリッド ヘキサポッドは、従来のヘキサポッドに固有の性能制限に対処するために、Alio Industries によって開発されました。

Alio の特許取得済みの 6-DoF 設計は、直列運動構造と並列運動構造の弱点を回避しながら、その長所をシームレスに融合して活用します。

ハイブリッド ヘキサポッドは、従来のヘキサポッドやスタック ステージ構成よりもはるかに優れた機能の多用途性、ナノメートル レベルの精度、再現性、優れた 6-DoF 軌道を提供します。

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